pvaTepla GIGA

Mikrowellen Plasma, GIGAbatch, GIGA690 oder GIGAfab Serie

Das Mikrowellenplasma ist ideal z.B. zum Entfernen von Fotolacken in der modernen Bauelementherstellung.

Das MW- Plasma produziert eine sehr hohe Konzentration chemisch reaktiver Elemente bei gleichzeitig niedriger Ionenbeschuss- Energie und liefert damit eine schnelle Aschenrate und einen beschädigungsfreien Plasmaprozess.

Anwendungen

• Entfernen von Fotolack nach der Implantation oder dem Trockenätzen
• Wafer und Substratreinigung von organischen Rückständen
• Geeignet für verschiedene Substrat Technologien wie Silizium, III / V-Verbindungen, Quarz, Keramik, Lithiumniobat etc.