Nassprozesse

SÜSS MicroTec AD12 / SD12

Die Systeme AD12 bzw. SD12 erfüllen alle Anforderungen an einen modernen Spin-Prozessor für Flüssigmedien zur Verarbeitung von Substraten mit einem Durchmesser bis zu 12″ (300 mm) oder Substraten / Masken bis zu 9″ x 9″ (230 x 230 mm).

Unterstützt werden zahlreiche Applikationen wie Fotolackentwicklung, Metall-Lift-off, Reinigung oder Resist-Stripping durch unterschiedliche Methoden der Materialaufbringung, wie Hochdruckspray (bis 120 bar) oder Kosten sparendes Medien-Recycling.

Weitere optionale Ausstattungsmerkmale wie punktgenaue Temperatursteuerung, Filtrierung und Wiederverwertung der Medien reduzieren den Medienverbrauch und ermöglichen  eine  optimale Betriebskostenkontrolle.

Merkmale

• Wafer und Substrate bis 12“ (300mm)  oder Masken bis 9“x9“ (230x230mm)
• Stand- Alone Edelstahlkabinett
• Für wässrige oder Lösungsmittel basierte Flüssigkeiten
• Dry wafer in / dry wafer out
• Programmierbare Beschleunigungen und Drehzahlen bis
  4.000 rpm
• Programmierbarer Mediendispensearm