Hot Plate & Cool Plate Module
SÜSS MicroTec CP8
Die Cool-Plate von SÜSS MicroTec bietet nach dem Ausheizen des Fotolacks ein schnelles Abkühlen der Substrate auf eine definierte Temperatur.
Sie ist speziell für die Forschung & Entwicklung und Kleinserienproduktion konzipiert.
Features
- Für Substratgrößen bis zu 200 mm Durchmesser
- Lift-Pins zum einfachen Be- und Entladen
- Intuitive Programmführung und Bedieneroberfläche
- Tisch- oder Standgerät
SÜSS MicroTec HP8
SÜSS MicroTecs Hot-Plate ist speziell für die Forschung & Entwicklung und Kleinserienproduktion konzipiert und besticht durch die intuitive Programmführung und einfache Handhabung.
Lift-Pins ermöglichen ein einfaches Be- und Entladen. Die Start-/Stopp-Automatik sorgt für stabile Prozessergebnisse mit einer sehr guten Wiederholgenauigkeit.
Features
- Für Substratgrößen bis zu 200 mm Durchmesser
- Intuitive Programmführung und Bedieneroberfläche
- Lift-Pins zum einfachen Be- und Entladen
- Prozesszeit, -temperatur und Aufheizrampen programmierbar als Rezeptparameter
- Quickstart-Funktion
- Tisch- oder Standgerät
