SÜSS MicroTec MA/BA Gen4 Pro
SÜSS MicroTec MA/BA Gen4 Pro
Die MA/BA Gen4 Pro Serie ist die vielseitigste Geräteplattform unter SÜSS MicroTec‘ s halbautomatischen Mask Alignern und bietet eine große Bandbreite an Einsatzmöglichkeiten. Sie unterstützt Substratgrößen bis zu 150 bzw. 200mm. Dank der zahlreichen Werkzeuge und Optionen und einstellbaren Prozessparameter bietet sie maximale Flexibilität sowohl für Forschung und Entwicklung als auch bei Produktionsprozessen. Eine ausgereifte Konzeption und modernste Technologien machen die MA/BA Gen4 Pro Serie zum idealen Gerät wenn es um die Entwicklung von Zukunftstechnologien geht. Damit setzt sie neue Maßstäbe in den Bereichen MEMS, Advanced Packaging, 3D-Integration und Verbindungshalbleiter.
Die MA/BA Gen4 Pro Serie lässt sich einfach in die Produktionsumgebung integrieren und zeigt sich kompatibel mit SÜSS MicroTec’s automatischen Anlagen. Ein Prozesstransfer von der Entwicklung in die Produktion ist somit einfach durchführbar. Die Serie besticht durch durchdachte Funktionalität (Industriestandard) und einen hohen Automatisierungsgrad der Funktionen. Automatische Strukturerkennung und Justierung unterstützen einen hohen Durchsatz und eine geringe Ausschussrate.
Hochwertige Optik- und Belichtungssysteme sowie modernste Justierverfahren machen die MA/BA Gen4 Pro Serie zu einem wertvollen Werkzeug bei der Beschreitung neuer Pfade. Unterstützt werden auch verschiedene Imprint-Verfahren zur Mikro- und Nanostrukturierung. Ebenso ermöglicht er mit nur geringem Umrüstaufwand eine hochpräzise Ausrichtung von Wafer-zu-Wafer, einfaches Fusionsbonden sowie vorbereitende Plasmabehandlungen der Substratoberfläche.
