SÜSS MicroTec MA12

Allineatore manuale di maschere per la ricerca industriale e la produzione a costi contenuti

L’MA12 è stato progettato per l’orientamento e l’esposizione di wafer e substrati angolati di dimensioni fino a 300 mm e può essere utilizzato sia nella ricerca industriale che nella produzione. Dotato di soluzioni per il controllo e la gestione flessibile del processo, il dispositivo è ugualmente adatto alle applicazioni di Advanced Packaging, tra cui 3D-Wafer-Level-Chip-Scale-Packaging, e allo sviluppo e alla produzione di componenti sensibili come i MEMS.

Punti di forza principali:

• Controllo chiaro del processo
• Gestione affidabile di wafer curvi e materiali sensibili
• Eccellente uniformità della luce

Scheda tecnica SÜSS MicroTec-MA12