SÜSS MicroTec MA/BA Gen4-Serie
SÜSS MicroTec – serie Gen4 MA/BA
Piattaforma di allineamento compatta per laboratori e produzione di piccole serie
La serie Gen4 MA/BA di SÜSS MicroTec è l’ultima generazione di allineatori semiautomatici di maschere e legature ed è accompagnata dal lancio di un nuovo sistema di piattaforma. La nuova piattaforma si differenzia per la sua configurazione. Comprende il modello standard, la serie Gen4 MA/BA, e il modello esteso, la serie Pro Gen4 MA/BA, per processi all’avanguardia e di alto livello.
Il modello base è disponibile nelle versioni MA/BA6 Gen4 e MA/BA8 Gen4. Grazie al suo design ergonomico e facile da usare, all’economicità e all’ingombro ridotto, l’allineatore di maschere e leganti è predestinato all’uso nel settore accademico e nella produzione di piccole serie.
La serie Gen4 MA/BA di SÜSS MicroTec stabilisce nuovi parametri e standard nella litografia a tutto campo, nei settori della ricerca accademica, dei MEMS e NEMS (sistemi microelettromeccanici e sistemi elettromeccanici su scala nanometrica), dell’integrazione 3D e dell’incollaggio di semiconduttori. Inoltre, sono supportati processi come Bond Alignment, Fusion Bonding e SMILE Imprint. I processi sviluppati sulla serie Gen4 MA/BA possono essere trasferiti rapidamente agli allineatori di maschere automatizzati per la produzione di grandi volumi.
Punti di forza:
- Eccellenti risultati di processo
- Estremamente facile da usare
- Costi di gestione ridotti
- Ergonomia migliorata
- Ingombro ridotto
- Microscopi faccia a faccia
