pvaTepla GIGA

Plasma a microonde serie GIGAbatch, GIGA690 o GIGAfab

Il plasma a microonde è ideale, ad esempio, per rimuovere le lacche fotografiche nella moderna produzione di componenti.

Il plasma a microonde produce un’altissima concentrazione chimica di elementi reattivi a bassa energia mediante bombardamento ionico, con conseguente rapida concentrazione delle ceneri e un processo di plasma privo di danni.

Applicazioni

• Rimozione di lacche fotografiche dopo l’impiantazione o il metodo a secco
• Pulizia di dischi e substrati laccati con residui organici

Adatto a diverse tecnologie di substrato, ad esempio silicio, composti III-V, quarzo, ceramica, niobato di litio ecc.