Sono possibili soluzioni personalizzate in termini di flusso di processo, compreso l’hanling, e in termini di dimensioni dei wafer.
Formazione di silicio poroso PorSi
Le attuali aree di applicazione sono LED, fotovoltaico e semiconduttori.
iconduttore. Il silicio poroso (PS) è un materiale formato dalla dissoluzione anodica di silicio monocristallino in soluzioni contenenti HF.
La concentrazione dell’elettrolita nei pori di µPorSi è costante durante il processo di dissoluzione.
anodizzazione e la reazione anodica nei pori procede uniformemente nella direzione dello spessore. La dissoluzione del silicio nei pori è il risultato delle reazioni divalenti e tetravalenti del silicio con , senza la reazione di sproporzione. Il film poroso superficiale insolubile (SPF) esiste sulla superficie del µPorSi e l’acido silicico si forma nel µPorSi.
Il sistema µPorSi è dedicato alla produzione di silicio poroso. Come supporto offriamo il ramp-up del processo presso la sede del cliente.
